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    掌握核心技術 駕馭光的運用

    電極涂層厚度測量

    日期:2021-09-02 來源:三姆森科技

    測量要求

    掃描一條線,以基板為基準面測量與涂層的段差即為涂層的厚度

    主要特點概覽
    1.非接觸式測量,一體化設計
    2.適用范圍廣,裝拆方便
    3.±0.5到±1μm重復精度保證
    4.一線式掃描,速度可達到50mm/s,大大提高檢測速度
    5.離線式檢測,厚度數據存儲,形成管理統計/分析基礎數據
    6.豐富的報警功能,OK、NG提示,監控測量全過程,管控品質,提高效率

    電極涂層厚度測量_samsuncn.com

    電極涂層厚度測量_samsuncn.com

    測量結果

    涂層厚度約為18μm±1μm

    解決現階段測量裝置存在的問題

    1.對測量材料有一定要求
    2.接觸式測量,對測量材料有損壞
    3.測量范圍小,位置不確定,測定困難
    4.測量速度慢、精度低,測量誤差大
    5.結構復雜,成本高


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